초순수(UPW)란?
반도체 초순수 배관

초순수(UPW)란?

초순수는 이온, 미세 입자, 유기물, 용존 가스, 미생물 등을 매우 낮은 수준까지 제거한 물입니다. 반도체 공정에서는 웨이퍼 표면을 세정하는 데 쓰이며, 물속 불순물이 회로 불량으로 이어질 수 있어 높은 순도가 요구됩니다.

초순수 배관이 까다로운 이유

• 오염 방지 : 만들어진 초순수가 배관을 지나면서 다시 오염되지 않아야 하므로 용출이 적은 재질과 청정한 시공이 필요합니다.
• 접합 품질 : 접합부의 틈이나 거친 면은 오염과 미생물 번식의 원인이 될 수 있어 정밀한 접합과 검사가 중요합니다.
• 세정·플러싱 : 시공 후 배관 내부를 세정하고 수질을 확인한 뒤 인계합니다.

시공 내용은 고순도(UPW) 배관공사 페이지에서 확인할 수 있습니다.

자주 묻는 질문

같지 않습니다. 초순수는 이온·입자·유기물 등을 훨씬 낮은 수준까지 제거하도록 여러 단계 정제 설비로 만든 물입니다.

현장 사양에 따라 다르며, 오염과 용출이 적은 고순도 플라스틱 계열이나 스테인리스 배관 등이 쓰입니다.