초순수(Ultra Pure Water)는 반도체·디스플레이 공정에서 웨이퍼 세정 등에 사용되는 핵심 유틸리티입니다. (주)온텍은 배관 내부 오염을 최소화하는 자재 선정과 정밀 시공 절차로 UPW 배관공사를 수행합니다.
초순수는 이온·유기물·미립자 함량을 극도로 낮춘 물로, 배관 내부에 조금이라도 이물질이나 스케일이 남아 있으면 수질이 바로 저하됩니다. 이 때문에 UPW 배관은 일반 급수 배관과 전혀 다른 자재(고순도 스테인리스, PVDF 등)와 시공 방식을 요구하며, 용접부 내면 산화·이물질 관리가 시공 품질을 좌우합니다.
또한 UPW 계통은 클린룸·유틸리티 공간을 거쳐 여러 공정 장비로 분기되는 구조가 많아, 배관 경로 설계 단계부터 유량·압력 손실을 고려한 계획이 필요합니다.
공정 요구 수질에 맞는 고순도 배관 자재를 선정하여 이온·유기물 용출을 최소화합니다.
내면 산화·버(burr)를 최소화하는 정밀 용접 방식으로 배관 내부 청정도를 유지합니다.
시공 후 배관 내부 세정과 수질·누설 검사를 거쳐 공정 투입 전 품질을 확인합니다.
클린룸 내 여러 장비로 분기되는 UPW 배관 경로를 유량 손실을 고려해 설계·시공합니다.
공정에서 요구하는 UPW 수질 기준과 필요 유량을 확인하고 배관 규격을 산정합니다.
고순도 배관 자재를 선정하고 클린룸·유틸리티 공간의 배관 경로를 설계합니다.
오염 관리 절차를 지키며 정밀 용접으로 배관을 접합·설치합니다.
배관 내부 세정 후 수질 및 누설 검사를 진행하고 결과를 문서화하여 인계합니다.